E' spesso necessario caratterizzare la microstruttura di polveri o piccoli granuli. Talvolta si tratta di polveri che entrano nel ciclo produttivo e dalla cui morfologia possono dipendere i risultati. In altri casi, si tratta di residui delle lavorazioni, a volte dannosi. In alcune situazioni si può trattare di polveri o granuli trovati come residui dannosi all'interno di circuiti. Il SEM con la microanalisi elettronica rende possibile la loro caratterizzazione, per comprenderne la natura e quindi l'origine.
ESEMPI:
L'immagine al SEM mostra una raccolta di granuli di materiali diversi prelevati da un filtro posto su un circuito industriale. I singoli granuli, dannosi per il buon funzionamento della macchina, hanno dimensioni che vanno da pochi millesimi di mm fino al decimo di mm. Le diverse tonalità di grigio indicano una differente composizione chimica. Mediante il sistema di microanalisi elettronica è possibile individuare le diverse composizioni chimiche e quindi l'origine delle polveri, attuando poi dei sistemi che ne prevengano la formazione.
L'immagine al SEM mostra dei granuli di quarzo utilizzati per sabbiare le superfici metalliche. L'osservazione permette di caratterizzarne la morfologia e individuare eventuali contaminazioni con materiali differenti. I granuli più grandi hanno dimensioni di circa 2 decimi di millimetro.
L’immagine al SEM mostra un deposito di granuli metallici. Le mappe ai raggi X permettono di distinguerne le differenti tipologie chimiche (figure seguenti).
Le mappe ai raggi X presentano la distribuzione dello zinco e del nichel, permettendo di individuare le diverse componenti dei granuli. Le mappe sono ottenute utilizzando il sistema di microanalisi elettronica installato nel microscopio.